半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
項目大环境
该机构为亚洲遥遥领先的光电器件测封机构,隶属于珠半圆省份,基本实现精致存储芯片的片区和封装类型软件测试。主要是因为本土节能环保需求标准,机构定制定一个电镀废水零尾气排放标准建筑品牌。品牌于2030年开始,202五年6月完工动工,处置的规模为200吨/日,总的投资约2000万是。
废污水材质及源
某项目地片区化工废水含有一些特质:
高氨水溶液浓度氟化物,其主要来自于晶圆水刀切割后的进行维护清洁工艺程序,氟阳离子氨水溶液浓度达到了150-200mg/L
有微米级硅粉粉末,粒级多在100-500nm相互
有机化学热负荷较高,COD在500-800mg/L
所含少量高价属如铅、镉等
纯水电导率高,常见在2000-3000μS/cm
治理加工方法
为实现学习目标零排卸学习目标,加工设计的概念侧重需要考虑电镀废水区分收藏和能源再利用:
废渣类型搜集操作系统
:将含氟废渣与相关废渣独立获取
物理沉淀自己除氟
:采取两极钙盐结晶法,密切配合高结晶池
一级阳极氧化清理
:什么是臭氧催化空气氧化空气氧化吸附难解决有机肥料物
膜精炼平台
:主要包括DTRO碟管式ro反渗透性,精炼7的倍数为10倍
蒸发器沉淀
:MVR自动化设备液体再缩短蒸发掉器正确处理浓水
干燥的装置
:将沉淀盐缺水后身为行业副类产品外售
净化处理功效
系统性正常运行动态数据屏幕上显示:
氟化物剔除率>99.9%,出水量氟阳离子<1mg/L
COD总清理率>98%,出水出水COD<20mg/L
水资原收旧率>95%,仅引发极富结晶体盐
次年可收回优质质量中水回用水约10万吨
心得盐色度高达工业化级标准规范,保证资源的化采用
投资项目这样不仅实行了生活污水零尾气排放标准,还凭借成本回收并创造自己了约80万块/年的木制托盘报酬率。