半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
投资项目时代背景
该半导体器件的企业处于长半圆区域,主要产量89厘米和129厘米晶圆,日摆放废储水量约2000吨。是由于产量制作工艺冗杂,废硫酸铜溶液包含有多难吸附生物碳物和天价属铁离子,经典净化处理方式 没办法符合越来越严格规范的摆放细则。
污水部分及来源于
污水主要是来历于七个基本原则:晶圆切除污水所含巨大硅粉和切除液残渣;化学上机打磨抛光污水比较丰富溶液硅和研磨抛光粒子;刻蚀的洗涤污水所含氟化物、铜亚铁离子等巨资属;光刻制作工艺污水则所含光阻剂等有机会污染问题物。水硬度特性是COD高(800-1500mg/L)、氟化物氧浓度高(200-400mg/L)、悬停物多且所含少量巨资属。
工作工艺设计步奏
主要包括"化学预解决+什么是生化解决+深度1解决"的搭配组合工艺技术:
上下调整池均衡化水硬度容量
混泥土发展出掉浮悬物和电解质溶液有机化合物
物理奠定法专业正确处理氟化物,加药系统钙盐建立氟化钙奠定
油脂水解硝化作用池加快废液可什么是生化性
相处钝化池化学降解设计空气排放物
化学活化炭降解塔实现深浅治疗
膜分離设备提高认识留水污水水质动态平衡
采取含铜废水处理方法多个如何设置化合物互相交换系统性,回报有实际价值的轻金属铜。
以后功效
创业项目完成后进行固定,出液COD<50mg/L,氟化物氧化还原电位<5mg/L,铜阳离子氧化还原电位<0.3mg/L,各个标准化均依赖于欧洲国家《网络工艺水环保破坏物排卸出标准化》(GB 39731-2020)。年年可下降COD排卸出约300吨,氟化物排卸出约50吨,收购铜五金约2吨,保证了环保国家经济收益与国家经济国家经济收益的共利。