该厂为8英尺晶圆生成线服务设施的超蒸馏水系统性，每一刻生成含硅污水150吨。污水里面的虽无天价属，但硅含量的高易积垢，且电阻功率率需提高18MΩ·cm才行回收。同一治理 技艺是无法足够新颁布实施的《智能产业水影响物尾气排卸规范规范》（GB39731-2020）很尾气排卸规范规定值。 污水营养成分亮点 最主要的被污染物质 ：固体硅（200-300mg/L）、粉末硅（比表面积0.1-1μm） 特异符合要求 ：TOC<10μg/L，硼的含量<5μg/L 水质量形态 ：低纯水电导率（<50μS/cm）但硅氧化物结构麻烦 外理技艺过程 不断创新选取"梯级膜分离出来+电去铝离子"团体工艺流程： 微滤预正确处理 ：1μm陶瓷制品膜手机拦截大颗粒剂硅，通量确保80LMH 阴阳离子对调树酯 ：D201大孔光敏树脂选泽性溶解硅酸原子核 二次RO设计 ：弟一段收回率60%，最后段主要包括高脱硼膜pcb板 EDI电去化合物 ：直流电体积密度2A/m²，持续保持删去残留物铁离子 红外光谱消菌 ：254nmUV太阳辐射线含量40mJ/cm² 能力优点 设计规划专用工具阻硅剂（生产胺类黏结物），廷缓膜被污染寿命3倍 EDI功能模块企业创新流道构思，硅清理率改善至99.8% 百度在线硅了解仪（自动测量的范围0.1-500μg/L）建立精细把控好 工作认真总结 经其三方协议书测量： 总硅从280mg/L高于0.05mg/L 硼水平从8μg/L减至0.3μg/L 系統的回收利用率从原40%加强至68% 膜换成的周期延长了至5年，年行驶总成本削减35%