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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体设备集成ic生产厂家在晶圆激光加工工作中,运行硅烷去硅外延性繁殖,废气排放洗衣塔生产氨基磺酸镍值含硅工业污废水 。工业污废水 具备有pH起伏较大大(2-11)、硅的含量高的优势特点,传统意义外理技巧易突然出现硅垢堵赛问题。 化工废水成分表及渠道 废污水最主要的组分为: 溶解度性硅酸盐 :SiO₂溶液浓度达1000-1500mg/L 氢防氧化钠/氢防氧化钠 :洗洁塔酸碱度洗洁液留 颗粒状硅 :nm级SiO₂橡胶胶体部分 痕量砷 :原材残渣携带 进行处理工艺操作流程操作流程 什么是创新通过"多级结合+膜过滤器+减压蒸馏晶体"流程: 第一采和 :用CaO调低pH至4-5,转换硅酸钙石雕文化沉淀,硅除掉率60%。 二次元中合 :加Na₂CO₃将pH加快至9,进第一步析出剩下硅,并接用镁剂除砷。 反渗透装置体统 :0.02μm瓷器膜滤水奈米级硅粒子,通量不稳在80LMH。 MVR化掉器 :萃取高盐工业废水,晶体出Na₂SO₄副护肤品,水造纸废水处理率超90%。 最中成效 总硅从1500mg/L高于5mg/L低于 砷纯度从0.8mg/L高于0.01mg/L 程序无积垢作业高达2年 历年收废氢氧化钾钠多晶体约800吨

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