半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体行业中高端测封模块化涉重生产废水——MVR二次不断循环零排投资项目
该项目情况
光电器件行业中高档首测活动,市场规模150立米米/天,是首批光电器件行业首测相互配套涉重废污水零排活动。首测原则的镀镍、镀铜、引线整体布局完成后洗掉会产生了含镍含铜废污水,产业园区追求"无尾水外排",产水全部中水回用于产线。
水污染优点与难题
化工废水以含镍应以(氧化还原电位10–100毫克/升),伴微量分析铜、锌,pH冲击大(2–12),和光刻胶余留的少量出可挥发物。公测厂安装地点紧,标准要求净化处理设施设备拆迁赔偿小;零排暗示着浓水不允许建筑垃圾清运许多,须要本土蒸馏晶粒前馈。
进行处理工学院艺线路
总体走"分质收集整理 → 预净化处理除杂 → 化学反应沉淀出的除镍 → 筛选 → UF+两极RO → MVR立即循环往复蒸发器 → 气液分离器水中水回用":
含镍线先调pH到10–11,污泥脱水氢加硫钠添加Ni(OH)₂放置,加上加硫钠深入捕集器多余镍(加硫镍Ksp比氢加硫镍更小,能够把镍压到0.1毫克/升之下);
沉淀自己溢水经多有机溶剂筛选水+安检员筛选水后进UF,再进一层RO,产水单独回产线的清洗;
RO浓水(含盐+残留血本属)进MVR立即反复冷凝器器,立即反复能扛高含盐积垢,冷凝器器默认网络清理,很不容易堵;
MVR空气冷却水回归到回收利用池子,化掉残液委外梵烧或是危险废物代理,全部整个生产区无液体状态外排。
重要设施设备的特点原因分析
MVR强行再重复相对比平常降膜挥发,再重复空气流速高、换热面后易结镍盐/碳酸盐垢,比较合适首测这般"蓄水量不高但水体质量杂"的场景中;四位一体化撬装设计情况报告土地征用比过去的挥发塘+多效挥发情况报告小60%大于;废气侧设备配套生态学滤池,把调整池和飞灰间的废气整理后吸附成CO₂和水,预防首测厂紧靠办公楼区的异味重匿名举报。
净化处理疗效与整体
留水镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,高于《电镀层感染物尾气排放标准口原则》表三;整个150立方米/天产水循环于首测产线的洗涤,充当等量新鲜感水;危废处理(蒸馏残液+污泥干化)量比傳統"沉淀物+尾气排放标准口"方法减约70%。对富士康侧,首测品牌干净准入条件卡点遭打通;